تیر ماه 1389

(در فایل دانلودی نام نویسنده موجود است)

تکه هایی از متن پایان نامه به عنوان نمونه :

فهرست
1-1 مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 1
2-1 تکنولوژی MEMS چیست؟ ……………………………………………………………………………………………………………………………….. 2
3-1 فوائد MEMS …………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 4
4-1 مزایای ساختن MEMS ………………………………………………………………………………………………………………………. 5
5-1 اصول ساخت MEMS ………………………………………………………………………………………………………………………… 6
فصل اول: آشنایی با تکنولوژی MEMS

فصل دوم: سنسورهای MEMS فشار و دما
1-2 مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 8
2-2 سنسورهای فشار ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………. 8
3-2 واحد های فشار و ضرایب تبدیل آنها به هم ………………………………………………………………………………………………………… 11
4-2 اندازه گیری فشار …………………………………………………………………………………………………………………………………………………… 11
5-2 سنسورهای فشار پیزومقاومتی ………………………………………………………………………………………………………………………………. 13
1-5-2 سنسور پیزورزیستیو برای کاربرد در Monifold ماشین در دمای بالا …………………………………………………. 16
6-2 سنسورهای فشار خازنی …………………………………………………………………………………………………………………………………………. 19
1-6-2 متدی برای بدست آوردن حساسیت بالا در سنسور فشار ………………………………………………………………………… 20
7-2 چگونگی اندازه گیری خروجی یک سنسور فشار خازنی (Capacitance Read-Out Circuit) …………………. 25
1-7-2 تبدیل خازن به فرکانس

…………………………………………………………………………………………………………………………. 25
2-7-2 تبدیل تغییرات خازنی به ولتاژ ……………………………………………………………………………………………………………….. 25
8-2 سنسورهای دما …………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 27
1-8-2 سنسور دمای مقاومتی(Resistive Temperature Microsensors ) ……………………………………….. 27
9-2 طرحی ساده برای چندگانه کردن سنسورها ……………………………………………………………………………………………………….. 30
فصل سوم : سنسور TMAP در خودرو
1-3 مقدمه ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………. 34
2-3 معایب عمده و ذاتی کاربراتور ………………………………………………………………………………………………………………………………. 35
3-3 سیستم تزریق سوخت الکترونیکی(electric fuel injection) EFI چیست ؟ …………………………………………… 35
4-3 سنسور فشار منیفولد و دمای هوای ورودی ………………………………………………………………………………………………………….. 37
1-4-3 سنسور فشار هوای مانیفولد MAP sensor ……………………………………………………………………………… 37
2-4-3 سنسور دمای هوای ورودی ………………………………………………………………………………………………………….. 39

فصل چهارم : طراحی و شبیه سازی سنسورهای فشار و دما
1-4 مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 40
2-4 دلیل استفاده از روش های اندازه گیری خازنی برای فشار و مقاومتی برای دما در سنسور ……………………………………. 41
3-4 شماتیک مقطع عرضی ساختار سنسور فشار و دما پیشنهادی …………………………………………………………………………….. 42
4-4 جابجایی دیافرگم طراحی شده با ازای فشارهای مختلف ……………………………………………………………………………………. 43
5-4 بررسی استرس stress وارد شده به دیافراگم ……………………………………………………………………………………………………… 49
6-4 اندازه گیری تغییرات خازن سنسور فشار ………………………………………………………………………………………………………………. 52
7-4 مدار پردازشگر سیگنال سنسور فشار …………………………………………………………………………………………………………………….. 56
8-4 سنسور دما ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… 65
1-8-4 سنسورهای پیزو مقاومتی (پیزورزیستیو) ……………………………………………………………………………………………. 65
2-8-4 MAT sensor( Manifold Air Temperature) …………………………………………………………………… 65
3-8-4 مقاومت Negative Temperature Coefficient (NTC) …………………………………………………….. 65
4-8-4 موارد استفاده NTC ………………………………………………………………………………………………………………………….
5-8-4 طراحی سنسور دما ………………………………………………………………………………………………………………………………. 66
67
9-4 پروسه ساخت سنسورهای فشار و دما …………………………………………………………………………………………………………………… 74

فصل پنجم : نتیجه گیری و مقایسه